ЦЕНТР КОЛЕКТИВНОГО КОРИСТУВАННЯ НАУКОВИМ ОБЛАДНАННЯМ при Інституті фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України “Діагностика напівпровідникових матеріалів, структур та приладних систем”

Центр колективного користування науковим обладнанням

Спектральний еліпсометр з обертовим компенсатором SE-2000 SEMILAB

eqp.c9ftp4

Опубліковано

01 січня 2016 р.

26 січня 2017 р.

Угорщина

використовується за призначенням (роботоздатне), є фахівці, які забезпечують роботу і обсулговування приладу

визначення оптичних констант (показника заломлення, коефіцієнта поглинання) і товщини плівок в багатошарових системах та об’ємних матеріалів. <br /> Типові об’єкти дослідження: тонкі металеві, діелектричні та напівпровідникові плівки (від мікронних до нанометрових розмірів); <br /> органічні шари і полімери; R&D матеріали, 2D та 3D наноструктури;<br /> комплексна пошарова характеризація та моделювання оптичних властивостей складових для багатошарових структур (для кожного шару окремо) з використанням відповідних дисперсійних залежностей;<br /> математичне моделювання оптичних констант як функції довжини хвилі, або енергії фотона в рамках Моделей Коші, Селлмайєра та інші (прозора область), Лоренц, Гаусс, Таук-Лоренц та інші (область поглинання);<br /> спектроскопія пропускання плівок на скляних підкладках.<br /> lambda = 245-2150 нм, діапазон кута падіння 15°-90°, розмір пучка 470 мкм х 0.365мкм

ІНСТИТУТ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ ІМЕНІ В.Є.ЛАШКАРЬОВА НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ