ЦЕНТР КОЛЕКТИВНОГО КОРИСТУВАННЯ НАУКОВИМ ОБЛАДНАННЯМ при Інституті фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України “Діагностика напівпровідникових матеріалів, структур та приладних систем”

Центр колективного користування науковим обладнанням

Високороздiльний рентгенiвський дифрактометр X'Pert PRO MRD

eqp.xh21pz

Опубліковано

01 січня 2005 р.

28 лютого 2006 р.

Нідерланди

використовується за призначенням (роботоздатне), є фахівці, які забезпечують роботу і обсулговування приладу

- фазовий аналіз зразків різних форм та розмірів;<br /> - структурний та фазовий аналіз тонких плівок в ковзній геометрії;<br /> - Х-променева рефлектометрія;<br /> - визначення залишкових напруг в режимах як Psi, так і Omega сканування;<br /> - діагностика структурної якості за високороздільними картами розсіяння в околі вузлів оберненої гратки;<br /> - визначення параметрів багатошарових епітаксійних структур (товщина шарів, склад, період повторення)

ІНСТИТУТ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ ІМЕНІ В.Є.ЛАШКАРЬОВА НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ