ЦЕНТР КОЛЕКТИВНОГО КОРИСТУВАННЯ НАУКОВИМ ОБЛАДНАННЯМ при Інституті фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України “Діагностика напівпровідникових матеріалів, структур та приладних систем”
Центр колективного користування науковим обладнанням

Інформація про обладнання

Назва обладнання

Мас-спектрометр вторинних іонів Atomika 4000 SIMS

Ідентифікатор

eqp.zg5vbf

Статус

Опубліковано

Дата виробництва

01 січня 1999 р.

Дата придбання

10 травня 2017 р.

Країна виробник

Німеччина

Стан наукового обладнання/устаткування

використовується за призначенням (роботоздатне), є фахівці, які забезпечують роботу і обсулговування приладу

Функціональне призначення обладнання

визначення елементного складу на поверхні зразків від водню до урану, концентрації на рівні від ppm до ppb. <br /> Профілювання домішок по глибині та розподіл домішок по поверхні зразків з роздільною здатністю не гірше 3 нм та 0,5 мкм, відповідно.

Установа власник

ІНСТИТУТ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ ІМЕНІ В.Є.ЛАШКАРЬОВА НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ